کوره PECVD

قدرت

3 کیلو وات

3 کیلو وات

4 کیلو وات

4 کیلو وات

اندازه لوله کوره (میلی متر)

قطر 60(OD) X1800mm

قطر 80(OD) X1800mm

دیا 100 (OD) X1800mm

قطر 120(OD) X1800mm

بعد، ابعاد، اندازه

1800X410X610

1800X410X610

1800X460X660

1800X460X660

ولتاژ منبع تغذیه

220V

شماره فاز

تک فاز

حالت کنترل

کنترل دمای یودیان

30 بخش فقط می توانند از تنظیم دمای PID استفاده کنند.

کنترل دمای FP93 (از ژاپن)

(تعویض ابزارهای وارداتی با هزینه اضافی)

کنترل دمای برنامه 1،40 بخش را می توان به برنامه گروه 4،2،1 تقسیم کرد، اگر برنامه به چهار گروه تقسیم شود، هر بخش برنامه 10،

2،6 گروه کنترل PID، دمای پایین، متوسط ​​و بالا هر کدام با مجموعه ای از PID، به طوری که هر بخش قادر به کنترل دما بسیار دقیق است.

حالت کنترل دما

PID هوشمند

محافظت در برابر فرسودگی و نمایشگر

آره

محافظت در برابر دمای بیش از حد

آره

حفاظت در برابر جریان بیش از حد

آره

دقت کنترل

+/- 1 درجه

ماشه

ماشه تغییر فاز

اسکری

106 / 16E آلمان سیمون کانگ

حداکثر دمای منطقه 1.2 درجه حرارت

1200 درجه

منطقه دمایی 1.2

دمای نامی

1150 درجه

نرخ گرمایش

کمتر یا مساوی 30 درجه / دقیقه (در صورت تغییر درخواست موجود است)

نرخ گرمایش توصیه شده

کمتر یا مساوی 15 درجه / دقیقه

نوع ترموکوپل

نوع K

طول گرمایش منطقه 1.2 درجه حرارت

205 میلی متر

دمای سطح اطراف

کمتر یا مساوی 45 درجه

قدرت RF پلاسما

محدوده توان خروجی

0-500W

حداکثر قدرت بازتابی

10W

فرکانس سیگنال

13.56 مگاهرتز ± 0.005٪

سر و صدا

<30 dB

خنک کننده هوا

روش خنک کننده

ورودی برق

٪7b٪ 7b0٪ 7d٪ 7dV 50 ٪ 2f 60HZ

پارامترهای اصلی سیستم تامین GX

محدوده استاندارد

کنترل کننده جریان پروتون 5,10,20,30,50,100,200,300,500SCCM, 1,2,3,5,10SLM

(می توانید هر مقیاسی را انتخاب کنید)

دقت

± 1.5%

افت فشار

<0.01MPa

تکرارپذیری

± 0.2% F.S

حداکثر

فشار عملیاتی

3 مگاپیکسل

سیستم اگزوز VS-0.1

منبع تغذیه

220V / 380V 380W

میزان پمپاژ

2L / S

وکیوم سنج مقاومت

ZDR-I

محدوده اندازه گیری خلاء

0.1-10 5 پا

پمپ خلاء

VRD-8

لوله راه راه

KF25X1000 میلیمتر

سیستم خلاء

10 -1پا